大幅面白光干涉显微镜 Micro L
采用双白光干涉测量模组系统架构：0.5x干涉测量模组实现大视场区域平面度自动测量，同时兼容2.5x-50x干涉物镜的显微干涉测量模组实现高横向分辨率三维重构。
0.5x干涉模组能够自动对焦调平，可以实现批量自动化区域平面度干涉测量功能，能够覆盖从光滑抛光面到台阶表面的各种样品平面度测量。相比普通白光干涉显微镜，本设备具有单次测量视场大，测量12.8*12.8mm无需拼接的优势。
多模式三维测量显微镜 Micro2000
结合纳米级白光干涉测量，光谱共焦扫描和超景深图像融合三种测量模式于一体，具有极高的应用场景适应性
三维测量显微镜 Micro1000
具备表面三维微观轮廓及粗糙度参数的测量功能，能够覆盖从超光滑抛光面到机加工粗糙表面的各种样品的测量
超景深显微镜 MS1000
超景深显微镜通过超大景深成像及镜头多角度旋转可对样品进行全方位的检测，集观察、拍摄、测量于一体，同时具备图像存储，2D/3D形貌测量等功能。广泛应用于3C电子、半导体、元器件、汽车产业、航空航天、食品药品、医疗器械、新能源、锂电池等诸多领域
苏公网安备32058502811276号